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MKS RPDG系列脈沖直流電源（直流等離子電源）
MKS RPDG系列脈沖直流電源,其功率有5、10和20千瓦,頻率從50至250KHz,占空比從0至40%。
MKS RPDG系列脈沖直流電源可作為反應(yīng)物理氣相沉積（PVD）和化學(xué)氣相沉積（CVD）中偏置或高端薄膜工藝，是MKS新一代高性能等離子直流電源?？梢允宫F(xiàn)有的PVD氣相沉積設(shè)備能制造更高質(zhì)量、更低缺陷的薄膜產(chǎn)品，以滿足下一代工藝制造要求。
MKS RPDG系列脈沖直流電源型號、特點(diǎn)及功率參數(shù)：
型號 | 特點(diǎn) | 功率 |
RPDG-50脈沖電源 | 不對稱雙向和單向直流電源封裝 | 5kW |
成一個單元（3U） | ||
可編程的頻率和占空比 | ||
RPDG-100脈沖電源 | 不對稱雙向和單向直流電源封裝 | 10kW |
成一個單元（3U） | ||
可編程的頻率和占空比 | ||
RPDG-200脈沖電源 | 不對稱雙向和單向直流電源封裝 | 20kW |
可編程的頻率和占空比 | ||
反向偏移優(yōu)越管理的獨(dú)立偏置電源 |
MKS RPDG-50&RPDG-100脈沖電源 MKS RPDG-200脈沖電源
MKS RPDG-50&RPDG-100脈沖電源 尺寸圖
MKS RPDG-200脈沖電源尺寸圖
