深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
    
          
 
      

    



    
  
    
               
             
             
    
            
                     
    
                         
                  
                  
                  
                 
    
            
     
            
  
    

    



    
    
 
    
    
        
    
            
            
            
        
    
          
    
    
    

    













    

    
    
    
         
    
           
    
                 
    
                  
                 
    
                   
    
                    聯(lián)系人：劉曙東  
       
                    手　機(jī)：13926558058
    
                    電　話：0755-26028990
    
                    傳　真：0755-26028992
     
                    郵　箱：[email protected]
     
                    網(wǎng)　址：gzaian.cn
     
                    地　址：
    深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動(dòng)社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫(xiě)字樓）6I
    
                   
    
                   
               
     
         
    
         
    
         
             
    
               MKS直流電源
               
                
             
    
            
    
              
    
                
    
                    
    
                       
                    
    
                
    
                
    
                    
    MKS elite射頻電源
    
                     
    elite系列射頻等離子體發(fā)生器提供最先進(jìn)的技術(shù)即緊湊的空氣制冷式封裝。它采用了高速閉環(huán)控制設(shè)計(jì)，一個(gè)典型的E型射頻板和一個(gè)可開(kāi)關(guān)的調(diào)制器提供優(yōu)越的輸出性能。在電路部分，它采用一個(gè)單一的印刷電路板，幾乎消除了所有內(nèi)部電線和連接器，因而提供了最高的產(chǎn)品可靠性。
                     
    
                   
                    
    如有疑問(wèn)，請(qǐng)與我們聯(lián)系！服務(wù)熱線：0755-260289900755-26028990
    
                     
    
                        
                
    
             
    
           
    
           
    
           
    產(chǎn)品詳情
    
           
    
               
    elite射頻電源
    射頻等離子體發(fā)生器
    13.56 MHz電源能量
    elite系列射頻等離子體發(fā)生器提供最先進(jìn)的技術(shù)即緊湊的空氣制冷式封裝。它采用了高速閉環(huán)控制設(shè)計(jì)，一個(gè)典型的E型射頻板和一個(gè)可開(kāi)關(guān)的調(diào)制器提供優(yōu)越的輸出性能。在電路部分，它采用一個(gè)單一的印刷電路板，幾乎消除了所有內(nèi)部電線和連接器，因而提供了最高的產(chǎn)品可靠性。
     接口包括RS232和25pin模擬，Profibus或DeviceNet可作為定制選項(xiàng)。所有的射頻發(fā)生器都符合當(dāng)前的電磁兼容和安全法規(guī)，包括CE標(biāo)記指令、NRTL列表和電磁兼容指令。
     elite系列產(chǎn)品可以作為連續(xù)操作的源或偏壓發(fā)生器，也可以作為獨(dú)立的工具。Elite非常適合太陽(yáng)能、LED、MEMS和半導(dǎo)體應(yīng)用。
     特征與優(yōu)勢(shì)
     購(gòu)置成本低：
    空氣制冷，
    高效率的設(shè)計(jì)，直流、射頻效率>85%（低功耗），
    寬輸入范圍不需要特殊的電壓轉(zhuǎn)換，
     容易安裝：
    空氣冷卻不需要連接冷卻回路
    緊湊的半機(jī)架外殼，可直接安裝工具
    標(biāo)準(zhǔn)IEC輸入連接器消除了特殊布線的需要
    單相，寬交流輸入范圍，適應(yīng)不同的交流線路電壓，便于在世界各地安裝
    適用于單相或兩相系統(tǒng)
     優(yōu)越的可靠性：
    集成的單電路板設(shè)計(jì)消除了電纜和連接器
    專(zhuān)利的inductive-clamp技術(shù)保護(hù)發(fā)生器免受最不利的電壓駐波比負(fù)載條件和等離子體波動(dòng)的影響
     增加的價(jià)值：
    基于現(xiàn)場(chǎng)可編程門(mén)陣列(FPGA)的控制實(shí)現(xiàn)了快速控制回路和發(fā)生器暫態(tài)保護(hù)
    通用激勵(lì)器(CEX)允許主從操作和同步其他發(fā)生器
    可選液晶顯示和6鍵多功能鍵盤(pán)，允許從前面板進(jìn)行本地操作
     2.jpg
    3.jpg
    技術(shù)規(guī)格
    Model
    elite 750
    elite 600
    elite 300
    Frequency
    頻率
    13.56MHz
    13.56MHz
    13.56MHz
    Frequency Stability and Accuracy
    頻率穩(wěn)定性和精度
    ±0.005%
    ±0.005%
    ±0.005%
    Available Output Power and Accuracy
    Dynamic Range
    動(dòng)態(tài)范圍
    1 - 750W
    1 - 600W
    1 - 300W
    Commanded Power Accuracy
    指令電源精度
    ± 2W (1-100W) ± 2% (101W - 750W)
    ± 2W (1-100W) ± 2% (101W - 600W)
    ± 2W (1-100W) ± 2% (101W - 300W)
    Commanded Power Repeatability
    指令電源重復(fù)性
    ± 1%
    ± 1%
    ± 1%
    Load Dynamic Range (Worst Phase Forward Power)
    Watts nominal into 1.1:1
    功率名義換算
    750W
    600W
    300W
    Watts nominal into 1.5:1
    600W
    600W
    300W
    Watts nominal into 2:1
    486W
    486W
    300W
    Watts nominal into 3:1
    384W
    384W
    300W
    Watts nominal into inf:1
    200W
    200W
    200W
    Spurious and Harmonics at Full Rated Output Power
    Output Stability
    輸出穩(wěn)定性
    -20dBc
    -20dBc
    -20dBc
    PSU Switching Freq and Harmonics
    PSU開(kāi)關(guān)頻率和諧波
    -30dBc
    -30dBc
    -30dBc
    Harmonic Output
    諧波輸出
    -30dBc
    -30dBc
    -30dBc
    AC Line Hum and Noise
    交流線路噪聲
    -30dBc
    -30dBc
    -30dBc
    Facility Requirements
    AC Input
    交流輸入
    Single phase 110VAC - 253VAC
    Single phase 110VAC - 253VAC
    Single phase 110VAC - 253VAC
    Line Frequency
    線頻率
    50Hz / 60Hz
    50Hz / 60Hz
    50Hz / 60Hz
    Cooling
    冷卻方式
    Air-cooled
    Air-cooled
    Air-cooled
    Operating Ambient Temperature Range
    操作/環(huán)境溫度
    5°C to 40°C
    5°C to 40°C
    5°C to 40°C
    Interface
    Remote Digital Interface
    遠(yuǎn)程數(shù)字接口
    RS-232 via DB9F
    RS-232 via DB9F
    RS-232 via DB9F
    Analog Interface (standard)
    模擬接口（標(biāo)準(zhǔn)）
    25-pin DB25F
    25-pin DB25F
    25-pin DB25F
    Setpoint Response Time - RS232 or Analog
    設(shè)置點(diǎn)響應(yīng)時(shí)間
    <10ms
    <10ms
    <10ms
    Configuration and Connectors
    Form Factor
    外形因子
    2U, full rack
    2U, full rack
    -
    Size
    尺寸
    17"W x 15"D x 3.5"H
    17"W x 15"D x 3.5"H
    -
    Power Switch - Front Panel
    電源開(kāi)關(guān)-前面板
    Front Panel Switch
    Front Panel Switch
    -
    Form Factor
    外形因子
    -
    3U, half rack
    3U, half rack
    Size
    尺寸
    -
    8.5"W x 15"D x 5.25"H
    8.5"W x 15"D x 5.25"H
    Power Switch - Rear Panel
    電源開(kāi)關(guān)-后面板
    -
    Rear Panel Switch
    Rear Panel Switch
    RF Output Connector
    射頻輸出連接器
    Type N
    Type N
    Type N
    AC Input Connector
    交流輸入連接器
    IEC Compliant Inlet
    IEC Compliant Inlet
    IEC Compliant Inlet
    Common Exciter I/O
    通用的激勵(lì)I(lǐng)/O
    BNC
    BNC
    BNC
    LED Indicators
    LED顯示
    PWR and STAT on rear panel
    PWR and STAT on rear panel
    PWR and STAT on rear panel
    Weight
    重量
    9.2 kg
    9.2 kg
    9.2 kg