EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵 

性能特點

兼容TIC渦輪儀表控制器。

多種通訊模式。

*并口，用于傳統(tǒng)控制信號接口

* 串口，用于RS-232接口。

通過RS-232接口，用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。

* 放氣閥控制設(shè)置。

* 正常泵速顯示。

 * 準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。

 * 功耗。

 * 泵溫。

增強型泵速、功耗、溫度監(jiān)測。

EXT255DX  Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵

技術(shù)數(shù)據(jù)

前級泵也可以使用抽速更大的旋片泵，還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。

* 超出該入口壓力時，轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
    ** 此時功率160W。
    *** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時，泵速下降約10%。
        前級泵為兩級旋片泵，并烘烤48小時。
        Pb <5 mbar（500 Pa）并烘烤48小時。