全方位安裝型復(fù)合分子泵的優(yōu)點(diǎn)
排氣范圍廣：低真空到超高真空的寬廣范圍內(nèi)排氣
大流量排氣：可排大流量的氣體
迅速啟動(dòng)：啟動(dòng)快，可縮短待機(jī)時(shí)間
耐振動(dòng)耐沖擊：經(jīng)得住壓力的急速上升，耐大氣沖擊能力強(qiáng)；且適用于受外部震動(dòng)影響的使用環(huán)境
優(yōu)越的耐久性：通過適當(dāng)?shù)木S修可長期使用（泵的壽命達(dá)到10萬小時(shí)以上）
用途
半導(dǎo)體；FPD(LCD,PDP,有機(jī)EL,FED,其他)制造；各種電子部件的制造；管球制造，光學(xué)部件（鏡片，光學(xué)過濾器等）制造；尤其適用于移動(dòng)式的排氣裝置；電子槍排氣，離子源排氣，熱處理；表面處理，表面改質(zhì)；分析，試驗(yàn)裝置；加速器，放射光設(shè)備，核聚變研究；研究開發(fā)用

                TG240F控制器一體型復(fù)合分子泵

全方位安裝；小型；節(jié)能；可迅速停止排氣；耐大氣沖擊能力強(qiáng)；高壓縮比；控制器一體型

*輔助泵的容量是80L/min情況下的容許最大流量
使用環(huán)境溫度：極限壓力的保證環(huán)境溫度是10-23度、容許環(huán)境溫度是8-38度
對(duì)應(yīng)氣體種類：根據(jù)抽吸氣體種類，軸承潤滑脂或內(nèi)部部件會(huì)受損。有關(guān)對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢
標(biāo)準(zhǔn)組合：泵+控制器用接口

特殊附屬品（另行購買）：冷卻風(fēng)扇，控制器+電機(jī)電纜（TG240F-20的情況），自動(dòng)慢排閥，氣體吹掃接口，精密針型閥，配管部件。