深圳市科銳詩汀科技有限公司
    
          
 
      

    



    
  
    
               
             
             
    
            
                     
    
                         
                  
                  
                  
                 
    
            
     
            
  
    

    



    
    
 
    
    
        
    
            
            
            
        
    
          
    
    
    

    













    

    
    
    
         
    
           
    
                 
    
                  
                 
    
                   
    
                    聯(lián)系人：劉曙東  
       
                    手　機：13926558058
    
                    電　話：0755-26028990
    
                    傳　真：0755-26028992
     
                    郵　箱：[email protected]
     
                    網(wǎng)　址：gzaian.cn
     
                    地　址：
    深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫字樓）6I
    
                   
    
                   
               
     
         
    
         
    
         
             
    
               MKS質(zhì)量流量計
               
                
             
    
            
    
              
    
                
    
                    
    
                       
                    
    
                
    
                
    
                    
    GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器
    
                     
    GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus?，EtherCAT?，PROFINET或DeviceNet?I / O。數(shù)字控制電子器件利用最新的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點進行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。
                     
    
                   
                    
    如有疑問，請與我們聯(lián)系！服務(wù)熱線：0755-260289900755-26028990
    
                     
    
                        
                
    
             
    
           
    
           
    
           
    產(chǎn)品詳情
    
           
    
               
    多氣體，多量程，金屬密封，50-50,000 sccm的質(zhì)量流量控制器
    GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus?，EtherCAT?，PROFINET或DeviceNet?I / O。數(shù)字控制電子器件利用最新的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點進行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點精度的1％。
    ·        流量從5到50,000 sccm
    ·        金屬密封，帶特氟龍閥塞
    ·        多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet?，Profibus?，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
    ·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％
    ·        少于750毫秒的建立時間
    技術(shù)指標(biāo)
    控制范圍
    滿量程的2％至100％
    進氣壓力系數(shù)
    <讀數(shù)的0.02％/ psi
    滿量程流量范圍
    5-50000 sccm（相當(dāng)于N2）
    典型建立時間
    <750毫秒，通常在滿量程的5％以上
    最大入口壓力
    150磅/平方英寸
    熱身時間
    30分鐘
    正常工作壓力差
    10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid
    工作溫度
    10°C至50°C
    耐壓
    1000磅/平方英寸
    儲存濕度
    0至95％相對濕度，無凝結(jié)
    爆破壓力
    1500磅/平方英寸
    貯存溫度
    -20°至80°C
    典型精度
    20％至100％滿量程時為設(shè)定值的±1％，2％至20％滿量程時為滿量程的±0.2％
    外部泄漏完整性
    <1 x 10 -09（scc / sec He）
    重復(fù)性
    讀數(shù)的±0.3％
    封閉閥的泄漏完整性
    在大氣壓力為40 psig時高達10K閥門<FS的0.1％，在大氣壓力為40 psig時20K-50K閥門<FS的1.0％
    解析度
    滿量程的0.1％
    濕材料
    316L SS VAR，316 SS，Elgiloy?，鎳，KM45
    零溫度系數(shù)
    <滿量程的0.05％/°C
    重量
    3磅（1.4公斤）
    跨度溫度系數(shù)
    <0.08％的讀數(shù)/°C
    合規(guī)
    CE認證
    特征
    多種數(shù)字和模擬接口選擇
    GM50A數(shù)字控制MFC具有模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用最新的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時間約為500毫秒。GM50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET?和EtherCAT?）。
    標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積
    GM50A利用MFC最常使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，從而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。
    金屬密封
    GM50A金屬密封MFC具有10 μ英寸電拋光316L表面光潔度，使該質(zhì)量流量控制器可用于高純度應(yīng)用。
    設(shè)定值精度的百分比
    附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1％的設(shè)定點精度。設(shè)定點精度可實現(xiàn)精確的過程控制，相對于相對于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時，精度為滿刻度的±0.2％。
    嵌入式用戶界面
    嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
    專利溫度傳感器
    經(jīng)過驗證的專利熱傳感器設(shè)計可提供出色的零穩(wěn)定性。美國專利號5461913。