深圳市科銳詩汀科技有限公司
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    MKS質(zhì)量流量計(jì)
    MKS I系列IE250A質(zhì)量流量控制器
    I系列IE250A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級(jí)的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE250A的滿量程范圍為100到250 slm(相當(dāng)于N2)。IE250可采用模擬I / O或數(shù)字I / O,并利用最新的控制算法對(duì)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速,可重復(fù)的響應(yīng)。

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    產(chǎn)品詳情

    IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封100-250 slm質(zhì)量流量控制器

     I系列IE250A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級(jí)的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE250A的滿量程范圍為100到250 slm(相當(dāng)于N2)。IE250可采用模擬I / O或數(shù)字I / O,并利用最新的控制算法對(duì)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速,可重復(fù)的響應(yīng)。

    ·        流速從100到250 slm

    ·        Viton,Buna,氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

    ·        1-2秒建立時(shí)間

    ·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0%

    技術(shù)指標(biāo)

    滿量程流量范圍

    100-250 slm(相當(dāng)于N2)

    儲(chǔ)存濕度

    0至95%相對(duì)濕度,無凝結(jié)

    最大入口壓力

    150磅/平方英寸

    貯存溫度

    -20°至65°C

    正常工作壓力差

    30至55 psid

    外部泄漏完整性

    <1 x 10 -9(scc / sec He)

    爆破壓力

    1500磅/平方英寸

    封閉閥的泄漏完整性

    在40 psia至vac時(shí)<1.0%滿量程(<500 mTorr)

    控制范圍

    滿量程的2%至100%

    濕材料

    316 SS,17-1 SS,Elgiloy,430FR(標(biāo)準(zhǔn))

    典型精度

    滿量程的20%至100%時(shí)為設(shè)定值的±1%
    滿量程的5%至20%時(shí)為滿量程的±0.25%

    密封材料

    Viton?(VI級(jí))或EPDM(VI級(jí))

    重復(fù)性

    讀數(shù)的±0.5%

    表面處理

    平均Ra 16 μinch

    解析度

    讀數(shù)的0.1%

    重量

    4.5磅 (2.05公斤)

    零溫度系數(shù)

    <滿量程的0.05%/°C

    外殼等級(jí)

    IP66

    跨度溫度系數(shù)

    <0.08%的Rdg./°C

    合規(guī)

    CE認(rèn)證

    進(jìn)氣壓力系數(shù)

    <讀數(shù)的0.03%

    電源要求

    +15至+24 VDC @(<4瓦)

    典型建立時(shí)間

    通常在50 psi的10%滿刻度以上需要1到2秒

    流量輸入輸出信號(hào)

    電壓:0至5 VDC
    電流:4至20 mA

    熱身時(shí)間

    1小時(shí)

    模擬量I / O連接器

    電壓:15針“ D”型公頭
    電流:15針“ D”型公頭

    工作溫度

    10°至50°C



    特征

    快速建立時(shí)間

    1至2秒的穩(wěn)定時(shí)間和低于設(shè)定點(diǎn)1%的設(shè)定點(diǎn)精度優(yōu)于其他典型的高流量質(zhì)量流量控制器。精確控制保持在IE250A配置的滿量程流量范圍的2%。多氣體/多量程功能,以及針對(duì)精度,控制范圍和瞬態(tài)響應(yīng)的嚴(yán)格性能規(guī)格,使用戶可以最大程度地減少高流量MFC零件編號(hào)的庫存。

    多氣體/多量程功能

    可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能(以及其他自定義控件),而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲(chǔ)在設(shè)備中。配置設(shè)備僅是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運(yùn)行狀況檢查,繪制流量響應(yīng)并存儲(chǔ)操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。