深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
    
          
 
      

    



    
  
    
               
             
             
    
            
                     
    
                         
                  
                  
                  
                 
    
            
     
            
  
    

    



    
    
 
    
    
        
    
            
            
            
        
    
          
    
    
    

    













    

    
    
    
         
    
           
    
                 
    
                  
                 
    
                   
    
                    聯(lián)系人：劉曙東  
       
                    手　機(jī)：13926558058
    
                    電　話：0755-26028990
    
                    傳　真：0755-26028992
     
                    郵　箱：[email protected]
     
                    網(wǎng)　址：gzaian.cn
     
                    地　址：
    深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動(dòng)社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫字樓）6I
    
                   
    
                   
               
     
         
    
         
    
         
             
    
               MKS質(zhì)量流量計(jì)
               
                
             
    
            
    
              
    
                
    
                    
    
                       
                    
    
                
    
                
    
                    
    MKS P250A金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器
    
                     
    P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250 slm的氮?dú)鉂M量程流量范圍內(nèi)運(yùn)行，并具有獨(dú)特的控制閥設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速的設(shè)定點(diǎn)響應(yīng)，同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時(shí)間（不到2秒）和1％的設(shè)定點(diǎn)精度，勝過(guò)其他典型的高流量MFC。
                     
    
                   
                    
    如有疑問(wèn)，請(qǐng)與我們聯(lián)系！服務(wù)熱線：0755-260289900755-26028990
    
                     
    
                        
                
    
             
    
           
    
           
    
           
    產(chǎn)品詳情
    
           
    
               
    高性能，大流量250 slm質(zhì)量流量控制器
     P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250 slm的氮?dú)鉂M量程流量范圍內(nèi)運(yùn)行，并具有獨(dú)特的控制閥設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)快速的設(shè)定點(diǎn)響應(yīng)，同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時(shí)間（不到2秒）和1％的設(shè)定點(diǎn)精度，勝過(guò)其他典型的高流量MFC。
    ·        流速?gòu)?00到250 slm
    ·        設(shè)定值精度為1％的多氣體/多量程
    ·        模擬量I / O：0至5 VDC，4至20 mA
    ·        數(shù)字量I / O：DeviceNet，RS485，Profibus
    技術(shù)指標(biāo)
    滿量程流量范圍
    100至250 slm（相當(dāng)于N2）
    溫度顯示
    0至85°C
    最大入口壓力
    150磅/平方英寸
    溫度精度
    ±2°攝氏度
    正常工作壓力差
    25至45 psid（在MFC出口處為大氣壓）
    溫度分辨率
    0.1°攝氏度
    耐壓
    1000磅/平方英寸
    顯示
    數(shù)值為4位數(shù)字，單位為4個(gè)字符
    爆破壓力
    1500磅/平方英寸
    配件類型
    世偉洛克?8VCR?
    控制范圍
    滿量程的2％至100％
    外部泄漏完整性
    <1 x 10 -10（scc / sec He）
    典型精度
    滿量程的20％至100％時(shí)為設(shè)定值的±1％
    滿量程的2％至20％時(shí)為滿量程的±0.2％
    封閉閥的泄漏完整性
    在40 psia至vac（<500 mTorr）時(shí)，小于已配置滿量程的1.0％
    重復(fù)性
    讀數(shù)的±0.3％
    濕材料
    316L SS VAR，316 SS，Elgiloy，430FR，Buna-N，鎳，聚酰亞胺
    解析度
    讀數(shù)的0.1％
    表面處理
    平均Ra 10 μinch
    零溫度系數(shù)
    <滿量程的0.05％/°C
    重量
    3磅（1.4公斤）
    跨度溫度系數(shù)
    <讀數(shù)的0.08％/°C
    合規(guī)
    符合89/336 / EEC的CE
    進(jìn)氣壓力系數(shù)
    <讀數(shù)的0.02％/ psi
    所需的DeviceNet輸入功率
    每個(gè)DeviceNet?規(guī)格為+11至+25 VDC（@ <9瓦）
    典型建立時(shí)間
    50 psi以下時(shí)，通常在10％滿刻度以上<3秒（典型值）
    DeviceNet連接器
    5針微連接器
    熱身時(shí)間
    30分鐘
    DeviceNet數(shù)據(jù)速率開(kāi)關(guān)選擇
    4個(gè)位置：125、250、500K（默認(rèn)），GM（可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)編程）
    工作溫度
    10°至50°C
    DeviceNet網(wǎng)絡(luò)規(guī)模
    多達(dá)64個(gè)節(jié)點(diǎn)
    儲(chǔ)存濕度
    0至95％相對(duì)濕度，無(wú)凝結(jié)
    DeviceNet網(wǎng)絡(luò)拓?fù)?/strong>
    同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性（中繼線/吊線）電源和信號(hào)
    貯存溫度
    -20°至80°C


    特征
    簡(jiǎn)短的流程步驟性能
    P250A的快速建立時(shí)間（少于2秒）和一（1）％的設(shè)定點(diǎn)精度的性能超過(guò)了其他典型的高流量MFC?？刂颇芰山档椭猎O(shè)備配置的滿量程的2％。這些功能與設(shè)備的多氣體/多量程功能相結(jié)合，擴(kuò)展了用戶的能力，可將MOCVD，硅外延，RTP和擴(kuò)散/氧化應(yīng)用所需的高流量MFC庫(kù)存降至最低。
    多氣體/多量程功能
    通過(guò)設(shè)備的嵌入式軟件和標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)接口，無(wú)需使用特殊軟件或硬件即可運(yùn)行，只需一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)Web瀏覽器和一臺(tái)PC，即可輕松實(shí)現(xiàn)多氣體/多量程功能的使用。對(duì)于使用中的典型高流量氣體，已經(jīng)在設(shè)備上存儲(chǔ)了重要的氣體參數(shù)。只需選擇氣體并指定滿量程流量范圍即可配置設(shè)備。該界面還允許用戶執(zhí)行設(shè)備診斷，繪制流程并存儲(chǔ)數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。
    P系列質(zhì)量流量控制器概述
    P系列高性能MFC具有全數(shù)字控制架構(gòu)，可在可操作設(shè)備范圍內(nèi)快速響應(yīng)設(shè)定值。嵌入式Web瀏覽器應(yīng)用程序允許更改氣體類型和滿量程流量，從而通過(guò)最小化必須保留在庫(kù)存中的MFC的數(shù)量和種類來(lái)降低總體成本。