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特點(diǎn)及應(yīng)用：
?操作簡單
?可靠，方便
?在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
?定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
?優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
?對真空系統(tǒng)檢漏
在工藝中的效果
?改善質(zhì)量
?提高流片量
?減少停機(jī)時(shí)間
?改進(jìn)工藝
?縮小工藝周期
?降低成本
