VSC150A真空開(kāi)關(guān).pdf

VSC150A真空開(kāi)關(guān)（絕對(duì)開(kāi)關(guān)，被動(dòng)）

INFICON 真空開(kāi)關(guān) VSC150 是一個(gè)絕對(duì)壓力開(kāi)關(guān)，帶有 0.5 - 2000 mbar 的可調(diào)節(jié)電氣開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)。其機(jī)械設(shè)計(jì)允許出現(xiàn) 3000 mbar 的短時(shí)高溫過(guò)載現(xiàn)象，而不會(huì)危及 ± 0.1 mbar 的開(kāi)關(guān)準(zhǔn)確度。INFICON 可為壓力開(kāi)關(guān)提供客戶特定調(diào)節(jié)功能。

功能

• 基準(zhǔn)室中的開(kāi)關(guān)觸點(diǎn)（常閉）保護(hù)免受過(guò)程介質(zhì)的影響

• 采用開(kāi)關(guān)放大器，提高了開(kāi)關(guān)能力

• 用于壓差測(cè)量的適配器

好處

• 高開(kāi)關(guān) ±精度

• 長(zhǎng)期穩(wěn)定的操作特性

• 堅(jiān)固耐用、防腐蝕的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

典型應(yīng)用

• 壓力開(kāi)關(guān)或壓差開(kāi)關(guān)，用于控制閥門、泵和電源

• 預(yù)抽真空室

• 過(guò)程腔室