深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座(寫字樓)6I
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真空系統(tǒng)配置:分子泵、機械泵、插板閥。最大樣品尺寸:6英寸。外形尺寸:850mm*700mm*1600mm/可定制。可集成熱蒸發(fā)、磁控濺射等沉積模塊。開門方式:前開門或上開門。支持獨立控制柜。真空腔室尺寸:Φ350-450mm。極限真空:小于5×10-5Pa。
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