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SVAC-FilmLab-G帶手套箱式鍍膜設(shè)備
規(guī)格參數(shù)
真空系統(tǒng)配置：分子泵、機(jī)械泵、插板閥。
最大樣品尺寸：6英寸。
蒸發(fā)源：圓形蒸發(fā)源（金屬/有機(jī)交替分布）/束源爐。
外形尺寸：3800mm*1100mm*2000mm。
觸摸屏控制。
開門方式：前移門，后拉門。
自動(dòng)控制沉積速率。
可整合效率測(cè)試、旋涂等前后端設(shè)備。
真空腔室尺寸：Φ400*400*400mm。
極限真空：小于5×10-5Pa。
上一個(gè): SVAC-FilmLab-T臺(tái)式鍍膜設(shè)備
上一個(gè): SVAC-PStat-80高真空分子泵機(jī)組
